四探針檢測儀
    HARTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

四探針檢測儀
    儀器采用了電子進行、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。


指標 ： 

測量范圍 電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴展）； 
方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴展）； 
電導率：10-5～104 s/cm； 
電阻：10-4～105 Ω； 

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
400mmX500mm（配S-2C型測試臺）； 
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調 
數字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示； 
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）； 
四探針探頭應用參數 （見探頭附帶的合格證） 
模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進行） 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 
整機測量zui大相對誤差 （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% 
整機測量標準不確定度 ≤5% 
計算機通訊接口 并口 
標準使用環境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射； 
配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭

北京恒奧德科技有限公司  

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